USHIO紫外线灯13.5KW

i线步进式光刻机NSR-SF140适用于半导体器件的制造。性能：Resolution分辨率≦280nm，Exposure light source曝光光源i-line(365nmwavelength)，Reductionratio缩小倍率1:4Maximumexposurefield，曝光范围26mm×33mm，Throughput产出≧200wafers/hour(300mmwafer,76shots),也可用于200mmwafer。采用悬吊投影镜头、减轻震动的“天钩构造”。通过高速运转的晶圆工作台，实现了每小时200片以上300mm晶圆的高产出。●超高产出采用了适于步进式光刻机的新平台“天钩构造”，同时晶圆工作台可高速运转，从而大幅度降低了振动，并实现了高产出。达到了每小时200片以上300mm晶圆的超高产出。高重合精度采用了“天钩构造”与配重物。并重新配置了空调管路，有利于工作室内的散热。使用ORC制作所生产的7.5KW超高压汞灯，对应型号：NLi-7500AL2。i线步进式光刻机NSR-2005i10用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2KW，型号：NLi-2001AL。USHIO紫外线灯13.5KW

ORC制造UV-LED照射装置

3种波长(365nm,385nm,405nm)可以单独照射，多波段混合LED照射装置。

製品仕様

灯具型式：LUV-L330-Mix2

照射範囲：W330.0(mm)D15.0(mm)

波長：365・385・405(nm)照射距離(WD)25(mm)

消費電力：(Max)1900(W)

Size：H125.7(mm)W482.0(mm)D230.0(mm)

重量：7.5(kg)

電源型式：LUV-L330-Mix2

調光方式：デジタル調光・定電流制御方式

出力容量：2600(W)

定格電源電圧：AC100～240(V)50/60Hz

アラーム機能：LED断線・温度上昇重量22.0(kg) 稳压电源紫外线灯13.5KW电源i线步进式光刻机NSR-SF150,用于半导体器件制造。使用ORC高压汞灯，功率7.5KW，型号：NLi-7500AL2D！

UV/可視光硬化型接着剤を硬化させるように設定されたUVファイバー装置です。メンテナンス時のランプ交換が非常に簡単です。自動機組み込み用、または手作業用に対応可能です。0～100%まで自由自在な光量調整ができます。全世界フリー電源です。瞬時停電対応プログラム搭載です。UV(紫外線照射)ファイバー装置用ランプです。用途UV/VIS(紫外線/可視光硬化)接着剤の硬化に。UVファイバー HM88、HM66用メンテンスランプ。 仕様放射波長(250nm帯増強タイプ)240～400nm , 質量(g):28, 入力電圧(V):AC100～240、単相47Hz～63Hz 寿命約3000時間(365mm)表面硬化重視の場合はこの限りでありません。 位置ライトガイド接続口/操作パネル面、ランプ交換口/背面 主なワークパーツ

于2005年开始，使用尼康Nikon i-line步进式光刻机，型号：NSR-SF140,分辨率≤280nm。这是一种具有高吞吐量和极低拥有成本的扫描场i线步进器。

客户可以将NSR-SF140用于大规模生产下一代存储器和微处理器的非关键层。NSR-SF140可提高生产率并提高镜头性能。光源和透镜热管理得到了改进，在典型的生产应用中（即剂量=200mJ/cm2，300mm晶片上的76次曝光）。

光刻设备中光源为紫外线I线，波长为365nm，功率为7.5KW,对应型号为NLi-7500AL2,是日本ORC生产。

光源制作工厂给出寿命时间1500Hr，照度保证时间1500Hr的承诺。

使用步进式光刻机型号：NSR-SF140,NSR-SF150,NSR-SF155； 在黑暗中寻找光明，超高压汞灯、金属卤素灯，紫外线灯为你指明方向。

 紫外线固化杀菌 (1)杀菌原理： 通过紫外线杀菌就是通过紫外线的照射，破坏及改变微生物的 DNA(脱氧核糖核酸)结构，使细菌当即死亡或不能繁殖后代，达到杀菌的目的。紫外线杀菌的有效波长范围可分为四个不同的波段：UVA(400～315nm)、UVB(315～280nm)、UVC(280～200nm)和真空紫外线(200～100nm)，真正具有杀菌作用的是UVC紫外线，因为C波段紫外线很易被生物体的DNA吸收，尤以253.7nm左右的紫外线 。[1] uv固化原理 紫外线固化原理： 紫外线光(UV)固化是利用光引发剂(光敏剂)的感光性、在紫外线光照射下光引发形成激发生态分子，分解成自由基或是离子，使不饱和有机物进行聚合、接技、交联等化学反应达到固化的目的。 紫外灯的红外辐射的处理方法： 紫外线高压汞灯将60%的总功率转变为红外辐射，灯管表面温度可升到700-800℃。 i线步进式光刻机NSR-SF110,用于半导体器件制造。使用ORC高压汞灯，功率3.5KW，型号：NLi-3500AS。低压汞灯紫外线灯CR0130U

i线步进式光刻机NSR-2005i11,用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2KW，型号：NLi-2001AL。USHIO紫外线灯13.5KW

小型・軽量で、受光部と本体が一体になったハンディタイプの計測器です。UV露光装置とUVコンベヤーのいずれにも対応した測定器です。露光装置、UVコンベヤー等の照度と光量の管理ができます。小型、軽量、薄型な、ハンディタイプです。機種は、用途に合わせてUV-351（UV-SD35相当）、UV-351-25（UV-SD25相当）、UV-351-42（UV-SD42相当）からお選びいただけます。光量測定、照度測定、ピーク照度測定など、各種の測定モードを選択できます。メタル・ボディで熱に強く、堅牢な構造です。USHIO紫外线灯13.5KW